纳米技术和微系统技术

微与豪微技术是快速发展的新方向。该学科旨在运用纳米技术及纳米材料对精微系统与构造进行研究。有以下具体方向：在微型集成电路中微及豪微系统的不同用途，微力学、热电学、光学、化学及生物学传感器，微型发动机与微型泵的共同作用，微及豪微控制器，微型机器人等等。该方向基本教研室有：半导体物理教研室与固体电子学教研室。